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一种五水四甲基氢氧化铵晶体的脱水方法

江燕斌; 邓文浩; 邓月华; 袁明军; 杨应喜; 刘彬云; 赖少媚
华南理工大学;广东光华科技股份有限公司;光华科学技术研究院(广东)有限公司
广东光华科技股份有限公司; 华南理工大学

摘要

本发明公开了一种五水四甲基氢氧化铵晶体的脱水方法。该方法将含五个结晶水的四甲基氢氧化铵晶体溶于有机溶剂,溶解,制得四甲基氢氧化铵有机溶液的原料液;原料液经过二级刮膜式分子蒸馏器的一级蒸馏预热后进入二级蒸馏,控制冷阱的温度为0‑8℃,真空度为100‑1000Pa,进而控制二级蒸馏原料的蒸发流量为10‑40ml/(m2·s),分子蒸馏的温度为75‑85℃,真空度为100‑1000Pa;收集重组分,得到含水量为0.4‑0.87wt%四甲基氢氧化铵有机溶液。该方法原材料简单易得,操作简单,能够有效去除TMAH五水结晶化合物中的水,制得可用于电子半导体行业的无水TMAH有机溶液。

关键词

-

出版信息

专利状态
其他(授权以外的其他状态)
专利国别
CHINA
申请日期
2021-11-3
申请号
CN202111294981.1

学科领域

化学工程与技术化学

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