Al2O3衬底MgB2超薄膜的研究

作者：林智远; 李东耀; 张宇昊; 冯庆荣

来源：低温物理学报, 2011, (03): 214-218.

• MgB2超薄膜
• HPCVD法

我们利用混合物理化学气相沉积法(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为HPCVD)在(000l)Al2O3衬底上制备了系列干净的MgB2超薄膜,并通过R-T测量、SEM测量、M-T测量、XRD测量对它们进行了表征,探究了其超导电磁性能和薄膜的生长机制.其中的7.5nm厚的MgB2超薄膜为已报导的蓝宝石衬底上生长的性能最高的超薄膜.

• 出版日期2011-6-15
• 单位北京大学