摘要

基于声表面波理论和微扰理论,提出了并研制由3个谐振器组成的差分式声表面波温度应变复合传感器。通过有限元分析软件对AT切和XY切的两种声表面波谐振器进行了仿真,根据其频率-应变响应和频率-温度响应,设计并研制了能够进行温度补偿和应力应变补偿的温度应变传感器,传感器的应力测量灵敏度为100 Hz/με,温度测量灵敏度为80 kHz/℃。该传感器成功应用到了隔离开关的状态监测。现场测试表明,该传感器对隔离开关触指温度和应变的检测可实现对隔离开关工作状态的有效判别,在未来的电力系统设备在线检测中具有重要的应用前景。