Microstructure of silicon-incorporated carbon films with various silicon concentrations deposited by hybrid magnetron sputtering/chemical vapor deposition (vol 39, pg 5585, 2013)

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作者：Cheng Hsin Chung; Wang Da Yen; Lan Wen Chien; Wang Pei Yi; Ou Shih Fu; Su Ya JuH; Ou Keng Liang^*

来源：Ceramics International, 2014, 40(6): 8935-8935.

DOI：10.1016/j.ceramint.2014.01.066

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更新时间：2021-04-24 20:28

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