一种铪锆掺杂聚硼硅氮烷及其制备方法

作者：陈平安; 胡书豪; 李享成; 朱颖丽

来源：2023-06-13, 中国, CN202310695218.2.

本发明涉及一种铪锆掺杂聚硼硅氮烷及其制备方法。其技术方案是：采用"希莱克技术",按溶剂∶硅烷I∶硼烷的摩尔比为1∶(1～5)∶(1～5),向三颈烧瓶中注入溶剂,再注入硅烷I和硼烷,搅拌,得到液态中间体。在搅拌条件下,按溶剂∶硅烷II∶氮烷的摩尔比为1∶(1～5)∶(1～5),向液态中间体中注入硅烷II和氮烷,升温至130～155℃,保温1～24h,抽真空处理,除去残余溶剂与副产物,获得聚硼硅氮烷。在搅拌条件下,按聚硼硅氮烷∶氯化铪∶氯化锆的质量比为100∶(1～30)∶(1～30),向聚硼硅氮烷中加入氯化铪和氯化锆,40～75℃保温,制得铪锆掺杂聚硼硅氮烷。本发明合成温度较低,所制备的铪锆掺杂聚硼硅氮烷具有纯度高、掺杂元素种类多并且组分稳定可控的特点。

• 出版日期2023-6-13
• 单位武汉科技大学