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Numerical Study of HBr/He Discharges in Capacitive Coupled Plasma Reactor

作者：Gul Banat; Aman ur Rehman
来源：Plasma Chemistry and Plasma Processing, 2016, 36(3): 857-868.
DOI：10.1007/s11090-015-9689-7
  • 出版日期2016-5

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更新时间：2019-02-18 14:03