薄膜微区厚度测定计算程序—Monte Carlo模拟

作者：何延才黄月鸿胡敏

来源：计算物理, 1987, (03): 379-385.

• 计算程序
• Monte Carlo
• 微区
• 发射强度
• 背散射系数
• 程序说明
• 壳层
• 背散射电子
• 对分布函数
• 氧化物膜

根据作者发展的理论和计算方法,编制了有衬底薄膜厚度测定的计算程序。本程序使用方便,已广泛应用于各类功能薄膜材料的测定计算中。

• 出版日期1987
• 单位中国科学院上海硅酸盐研究所