摘要

在集成电路封装工艺过程中,塑封工序使用的液压机多为传统的水冷型结构,为液压系统提供动力的传统马达功率达到7KW,功耗大,并需要采用冷却循环水对油温进行冷却,故需要一整套水冷循环系统。尽管是循环使用,但都有水的挥发产生损耗,浪费水与电,节能效果差。经过改造液压动力功能部分,将液压机“传统电机与泵”改造为“伺服电机泵”,增加伺服控制器、油过滤器、PLC控制器及液压模块等,从而实现节能降效的目的。