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干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析
作者:相里斌; 杨建峰; **; 刘改霞
来源:
光子学报
, 1997, (02): 132-135.
干涉光谱仪
动镜倾斜
调制度
相位误差
摘要
本文从调制度和相位误差角度,系统分析了双光束干涉光谱仪中,当光束孔径为圆形和矩形时,动镜运动过程中发生倾斜的影响,讨论了动镜倾斜容限以及减小动镜倾斜误差的方法.
出版日期
1997-2-25
单位
中国科学院西安光学精密机械研究所
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