单晶硅生长技术及氧缺陷控制方法

作者：孙姝

来源：中小企业管理与科技(上旬刊), 2015, (10): 272.

• 单晶硅
• 生长技术
• 氧缺陷

本文介绍了单晶硅的基本概念和用途,并对单晶硅的几种主要制备方法做了简单介绍。同时结合生产实际经验,对单晶硅中的主要杂质——氧,提出了几种控制方法。

• 出版日期2015-10-25
• 单位宁夏建设职业技术学院