离子注入均匀性的测量与诊断技术

作者：罗应明

来源：微细加工技术, 1985, (01): 60-69+59.

• 均匀性
• 轮廓图
• 薄层电阻
• 离子注入
• 诊断技术
• 光密度法
• 生产监控
• 测量方法
• 抗蚀剂
• 外参数

本文评述了离子注入剂量与均匀性测量方法的新进展,重点概述了离子扫描光密度测量法。同时阐述了薄层电阻与光密度法的等值线轮廓图可诊断非均性的产生原因及在生产监控上的应用。

• 出版日期1985
• 单位中国电子科技集团公司第四十八研究所