单侧耦合 1 6×0.8nm阵列波导光栅的设计、制备及测试(英文)

作者：李健安俊明王红杰夏君磊胡雄伟

来源：Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2005, (02): 254-257.

• 光波导
• 相位阵列
• 波分复用 optical planar waveguide
• phased arrays
• wavelength division multiplexing

介绍了一种新型 16通道、10 0GHz通道间隔的硅基二氧化硅单侧耦合阵列波导光栅 (AWG) .通过增加一个Y分支波导结构 ,并且将AWG的输入、输出波导等间距整齐排列 ,实现了仅用一个光纤阵列进行AWG器件的耦合封装 .这种AWG的结构设计可以有效地减小器件尺寸 ,增加波导结构的弯曲半径 ,减少器件抛光及耦合时间 ,并降低器件成本 .

• 出版日期2005
• 单位中国科学院半导体研究所