分子动力学仿真过程中硅晶体位错模型的构建

作者：郭晓光; 张亮; 金洙吉; 郭东明

来源：中国机械工程, 2013, (17): 2285-2289.

• 分子动力学仿真
• 滑移位错
• 螺旋位错
• 硅晶体
• 纳米级磨削 molecular dynamics(MD) simulation
• slip dislocation
• screw dislocation
• monocrystal silicon
• nanometer grinding

基于位错形成机理,在单晶硅晶体结构基础上描述了硅晶体位错形成的过程。应用偶极子模型,构建了60°滑移位错芯和螺旋位错芯,进而得到硅晶体含有60°滑移位错的模型和含有螺旋位错的模型。对含有螺旋位错的硅晶体模型进行了分子动力学仿真计算,分析了含有螺旋位错的硅晶体超精密磨削的加工过程,研究了含有螺旋位错缺陷的硅晶体纳米级磨削机理。

• 出版日期2013
• 单位大连理工大学