摘要

暗电流是影响氮化镓(Ga N)雪崩光电探测器性能的一个关键性因素。课题组通过工具软件Sentaurus-TCAD对Ga N基雪崩探测器暗电流机制进行了仿真研究,对其暗电流的主要机制:扩散电流、复合电流、隧穿电流、雪崩倍增电流以及表面复合电流进行了总结与分析。将仿真得到的雪崩探测器暗电流特性与实验数据进行对比,发现它们具有很好的吻合性,为学生对Ga N探测器暗电流特性的学习和仿真研究提供参考和借鉴。