箔式锰铜传感器的新进展

作者：崔红玲; 杨邦朝; 杜晓松; 周鸿仁; 滕林

来源：功能材料, 2005, (12): 1957-1958.

• 箔式锰铜传感器
• Al2O3薄膜
• 动态高压测试

箔式锰铜传感器主要应用于动高压的测试中,现有的箔式锰铜传感器采用有机物作为绝缘层,其测压上限为40GPa。而采用绝缘封装层为Al2O3薄膜的箔式传感器,可拓宽其测压上限。动高压测试结果表明,该传感器所承受的压力为55.32GPa,压阻系数为0.0272,传感器的延续时间可达2.5μm。

• 出版日期2005-12-20
• 单位电子科技大学