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Nano Processing with Gas Cluster Ion Beams

作者：Matsuo Jiro*; Kitagawa Teruyuki; Seki Toshio; Aoki Takaaki
来源：Journal of Japanese Society of Tribologists, 2010, 55(11): 776-782.
  • 出版日期2010
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更新时间：2018-01-19 02:57