Al–Sc共掺杂ZnO透明导电薄膜的掺杂机制

作者：陈建林; 陈荐; 何建军; 任延杰; 邱玮; 陈振华

来源：硅酸盐学报, 2011, (07): 1112-1117.

DOI：10.14062/j.issn.0454-5648.2011.07.008

• 氧化锌
• 透明导电氧化物
• 掺杂机制
• 溶胶-凝胶
• 太阳电池 zinc oxide
• transparent conductive oxides
• doping mechanism
• sol-gel
• solar cell

采用溶胶-凝胶法制备Al-Sc共掺杂ZnO透明导电薄膜,考察了结晶性、晶界状态、紫外-可见光透射光谱及Hall效应,并讨论其掺杂机制,结果表明:Sc单独掺杂时,晶粒尺寸变小,结晶性变差,晶粒表面包裹一层非晶相,透射光谱存在较大的吸收谷,无导电性;Al-Sc共掺杂时,晶粒表面无非晶相,c轴择优取向性和晶界状态变优,透射光谱无大的吸收谷,载流子迁移率比Al掺杂ZnO薄膜增大约1个数量级。

• 出版日期2011
• 单位湖南大学; 长沙理工大学