一种TEM样品承载装置

摘要

本实用新型公开了一种TEM样品承载装置，包括附连元件(11)，所述附连元件(11)形成于基底(10)的一个侧面，附连元件(11)上粘接附连样品(12)，附连样品(12)的一个表面正对离子束，基底(10)旋转90度后，附连样品(12)的另一个表面正对离子束，离子束不会被基底(10)的一部分遮挡住。本实用新型的TEM样品承载装置适用于加工附连样品的多个表面，实现了同一个附连样品，多区域TEM观测功能。

关键词