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摘要
一种量子级联探测器结构,包括：一衬底；一下欧姆接触层,该下欧姆接触层制作在衬底上,该下欧姆接触层进行高浓度掺杂从而实现与电极材料的欧姆接触；一势垒隔离层,该势垒隔离层制作在下欧姆接触层上的中间部位,使下欧姆接触层的四周形成台面,该势垒隔离层不掺杂；一多周期的有源区结构层,该多周期的有源区结构层制作在势垒隔离层上,该多周期的有源区结构层是实现探测器的探测光电流的核心部位；一上欧姆接触层,该上欧姆接触层制作在多周期的有源区结构层上,该上欧姆接触层进行高浓度掺杂从而实现与电极材料的欧姆接触；一上电极,该上电极制作在上欧姆接触层上；一下电极,该下电极做在下欧姆接触层四周的台面上。
- 出版日期2011-12-7
- 单位中国科学院半导体研究所
