MP2300在晶圆传输机械手控制系统中的应用

作者：张利军; 王刚; 冯小强; 宋文超

来源：伺服控制, 2014, (08): 43-45+63.

• 半导体
• 晶圆传输机械手
• 运动控制器
• MP2300

本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和安川机器控制器MP2300的特点,并以R-θ型单臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用MP2300进行控制系统设计的思路。试验证明,利用MP2300作为晶圆传输机械手的运动控制器,开发周期短,机械手运行稳定,控制精度高,完全满足机械手运动控制器的要求。

• 出版日期2014
• 单位中国电子科技集团公司第四十五研究所