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摘要
本发明公开了一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置,包括减震基座、宏动位移台、支架I、微动位移台、支架II,通过宏动位移台和微动位移台能够对悬臂进行三维方向上的弹性系数标定,支架I的内侧设置有固定相机和四象限光电探测器；支架II的内侧设置有悬臂,悬臂前端设置有探针,微动位移台上设置有载物台和单轴微力传感器,悬臂上方的支架II内侧设置有激光器。本发明还公开了一种三维微摩擦力和粘附力的测量方法。本发明较好的解决了传统粘附力和摩擦力测量装置无法对三维条件下的粘附力和摩擦力进行测量的技术瓶颈,能够对深孔等更为复杂的表面结构进行力学测量,具有测量分辨率高、灵敏度性能好等优点。
- 出版日期2022-6-27
- 单位合肥工业大学
