探针测试台x-y工作台的维护与保养

作者：周豪

来源：电子工业专用设备, 2004, (05): 79-81.

• x-y
• 半导体器件
• 滚珠丝杠副
• 平面电机
• 自动化程序
• 后道工序
• 自动测试
• 直线导轨
• 步进电机
• 精密仪表

对探针测试台用途及结构作一简单介绍,对x-y工作台的维护与保养提出具体措施。

• 出版日期2004
• 单位中国电子科技集团公司第四十五研究所