一种氮化镓纳米管及其制备方法

作者：季小红; 曹发

来源：2020-02-29, 中国, CN202010133005.7.

本发明公开了一种氮化镓纳米管及其制备方法,属于形貌控制材料制备领域。所述方法包括：(1)将衬底进行表面预处理,采用直流磁控溅射法在衬底的表面溅射一层氧化锌缓冲层；(2)将衬底放置在装有反应溶液的反应釜中,水热反应生成氧化锌纳米棒。(3)把长有氧化锌纳米棒的衬底放在原子束沉积腔体中沉积氮化镓壳层。(4)用移液枪量取适量配置好的硫酸溶液滴在长有氧化锌/氮化镓核壳层的衬底上,使硫酸溶液充分腐蚀氧化锌纳米棒,最后在衬底上留下氮化镓纳米管。本发明实现了氮化镓纳米管的可控制备,且制备方法简单、重复性好、质量可靠。

• 出版日期2020-2-29
• 单位华南理工大学