多晶Si太阳电池新型制绒工艺研究

作者：吕肖前; 孟凡英; 汪建强; 胡宇; 施旸; 张松; 李翔; 黄建华

来源：光电子-激光, 2010, (03): 400-402.

DOI：10.16136/j.joel.2010.03.007

• 多晶Si
• 太阳电池
• 二次腐蚀
• 表面织构 multi-crystalline silicon
• solar cell
• secondary texturing
• surface texturing

提出一种采用二次酸腐蚀的多晶Si制绒新方法,首先在HF/HNO3的富HNO3体系中对Si片进行一次腐蚀,之后在富HF体系中进行二次腐蚀,以优化表面织构,减少光在Si表面的反射损失。制绒后,用扫描电子显微镜(SEM)对Si片进行了表面形貌分析,用Carry 5000紫外-可见-近红外分光光度计测量反射谱线,得到未镀减反射膜(ARC)的二次腐蚀制绒的最低反射率为20.34%,比一次腐蚀制绒(22.70%)低2.36%。将二次腐蚀新工艺应用于太阳电池工业制备中,对电池输出参量进行检测分析。结果表明,经过二次腐蚀工艺处理的太阳电池开路电压(VOC)、短路电流(JSC)和效率η均比采用一次腐蚀工艺的太阳...

• 出版日期2010
• 单位上海交通大学