一种用于OLED屏疵病检测的高解析度线扫描镜头设计

作者：曹卫卫^*; 孙逊; 安双新; 武斌; 谢廷安

来源：光学技术, 2021, 47(02): 163-166.

DOI：10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2021.02.007

• 光学设计
• 扫描镜头
• 双高斯
• 光机结构设计

为了满足OLED屏疵病检测的成像需求,设计了一种高解析度线阵扫描镜头。光学系统基于双高斯对称结构,镜头焦距f′=116mm、放大倍率β=-0.5×、物方数值孔径NA=0.038、物方线视场2y=120mm。利用光学设计软件Zemax仿真可得镜头的调制传递函数MTF在奈奎斯特频率120lp/mm时能达到0.2以上,接近衍射极限;各视场点列图基本都在艾里斑之内,均方根半径较小;利用双高斯的对称特性降低畸变,相对畸变q<0.5%。针对景深和曝光量可调的成像需求,即F#的切换需求,以及光学元件的尺寸排布,给出了光阑孔径可变的镜头光机结构设计。最终利用MTF测试仪对镜头的成像质量进行检测,实验结果表明此镜头能够满足OLED屏疵病检测功能的工业成像需求。

• 出版日期2021
• 单位上海航天控制技术研究所