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摘要
以3Y-TZP陶瓷为基体,采用还原Fe粉包埋、高温浸渗的表面改性方法,制备防静电性能与力学性能兼备的ZrO2陶瓷。研究了浸渗时间、浸渗温度对ZrO2陶瓷表面电阻率及硬度的影响,结果表明:随着浸渗时间延长,浸渗温度升高,表面电阻率降低,硬度下降。在1000℃浸渗4 h,ZrO2防静电陶瓷表面电阻率由1014Ω/□以上降低至8.3×107Ω/□,硬度由12.7 GPa降低至11.23 GPa。采用XRD、SEM、XPS等方法对防静电ZrO2陶瓷的显微结构、化学组成及防静电机理进行了分析。结果表明,浸渗过程中,发生由t-ZrO2转变为m-ZrO2相变;Fe元素以Fe3O4、FeO、单质Fe的形式存在...
