本文主要介绍了气体质量控制器的原理、结构,说明其在薄膜气相沉积应用中的标定、转换系数计算等问题,重点研究了一种质量流量计在挥发气体控制中恒温控制系统,给出了系统机构原理图,说明了质量控制器的改进及发展方向。
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