AlGaN MSM结构日盲型紫外探测器

作者：杨莲红; 张保花; 王俊珺; 魏伟

来源：现代电子技术, 2014, (20): 120-122+126.

DOI：10.16652/j.issn.1004-373x.2014.20.017

• 日盲型
• 紫外探测器
• 金属有机化学气相沉积法
• AlGaN
• 光谱响应 solar-blind ultraviolet photodetector
• MOCVD method AlGaN
• spectral response

采用低压-金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在(0001)方向的AlN/蓝宝石模板上生长得到Al组分为40%的AlGaN材料,设计并制作了MSM型AlGaN日盲紫外探测器。通过HRXRD,SEM,AFM对AlGaN材料进行了表征,结果表明:该材料为六方相结构,且应变程度很小,粗糙度(RMS)为1.32 nm。通过测试器件在230~320 nm之间、在不同偏压下的光谱响应曲线,发现器件的截止波长在285 nm附近,截止边很陡峭;器件的峰值响应波长为275 nm;在7 V偏压下,器件峰值响应度达到最大2.8 mA/W;零偏压下,器件的暗电流1×10-13A,器件的暗电流很小。

• 出版日期2014
• 单位昌吉学院