非晶碳氢薄膜a-CNx∶H是一类具有亚稳态非晶结构的薄膜材料,具有很多类似金刚石的优异特性,现基于a-CNx∶H薄膜优异的光学性质,研究射频功率、基片、刻蚀、退火等不同实验条件下制备的a-CNx∶H薄膜,采用综合对比分析法,得出实验条件对其光学性质的影响。
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