三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台

摘要

本发明公开了一种三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台,包括处于平台中心的固定的支架,与所述支架连接的三块柔性体呈正三角形分布且处于同一水平面上,每块柔性体包含一段波纹型薄片,三块柔性体的一端通过螺钉与所述的支架相连,另一端通过螺钉与承载台相连接。本发明能在定位平台整体尺寸很小的情况下获得大幅度的二维平动输出和一个转动输出,平台的运动是通过波纹型簧片的变形产生；采用波纹型薄片,大大增加了平台的整体柔度；波纹型薄片呈正三角形分布的结构,提高了输出的稳定性,降低了平动时终端平台的漂移,结构简单,加工方便,组件可分别加工再装配,也可采用线切割机床一体化加工成型。

关键词