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摘要
本发明公开了一种可转移的大尺寸氧化镓薄膜的制备方法,主要解决现有技术生产成本高、难以得到大面积剥离膜的问题。其实现方案为：通过化学气相沉积在铜箔上生长石墨烯,再将去除铜箔的石墨烯转移到清洗过的蓝宝石衬底上作为插入层；将覆有石墨烯的蓝宝石放入雾化学气相淀积Mist-CVD炉子中,在石墨烯上淀积大尺寸的氧化镓外延层；通过热释胶带从石墨烯上剥离转移该氧化镓外延层,得到氧化镓薄膜。本发明通过外延层与石墨烯之间存在的较弱的范德华力,使得外延层易被剥离并转移至目标衬底,减少了工艺步骤和成本,能在大气压强及工艺重复性好的前提下获得质量较高的均匀大尺寸氧化镓外延膜,可用于制作氧化镓电子器件。
- 出版日期2021-10-26
- 单位西安电子科技大学
