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摘要
本发明公开了一种多光束阵列振镜扫描系统,包括振镜框体结构,所述振镜框体结构内部设有X轴阵列振镜系统和Y轴振镜系统,X轴阵列振镜系统或Y轴振镜系统为多个轴心线相互平行的振镜组成,经扩束镜扩束后的激光通过进光口进入阵列振镜扫描系统内部,光束到达X轴阵列振镜系统被平分为n束光强相同的平行光束,n束平行光束在X轴各个振镜偏转带动下实现在X方向任意移动,并投射到Y轴振镜系统上,在Y轴振镜偏转反射带动下,n组光束在Y方向上移动,最后该n组光束经过出光口并被F-θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。通过本发明的技术方案,加工效率将会成倍增长,增长的倍数与振镜的阵列数目相同,极大的降低加工时间和加工成本。
- 出版日期2016-8-29
- 单位华南理工大学
