大平面玻璃基片磁控溅射真空镀膜简介(一)

作者：龚建华; 柳俊文; 张永胜

来源：真空, 2006, (02): 1-4.

• 溅射镀膜
• 玻璃基片 sputtering coating
• glass substrate

近年来,各种工业生产规模的玻璃基片大平面磁控溅射生产线发展迅速,令人关注。本文针对这一领域,就主要膜系开发、设备结构、工艺、存在的问题及最新发展做了简单的归纳和介绍。

• 出版日期2006
• 单位合肥工业大学