MEMS压电阵列振动能量收集器

作者：佘引; 温志渝; 赵兴强; 邓丽城; 尚正国

来源：传感技术学报, 2014, (08): 1033-1037.

• 微机电系统
• 振动
• 能量收集
• 压电
• 阵列 MEMS
• vibrate
• energy harvesting
• piezoelectric
• array

近年来,随着微能源的发展,微型压电振动能量收集器得到了广泛关注,但传统d31模式PZT薄膜微型压电振动能量收集器输出电压普遍较低,难以满足应用需求。为提高微型压电振动能量收集器的输出电压,论文提出了共质量块悬臂梁阵列压电振动能量收集器新结构,该结构包含压电悬臂梁单元组成的阵列和一个质量块,悬臂梁阵列共用质量块。采用有限元方法对该结构进行了优化设计,得到压电悬臂梁单元优化尺寸为3 mm×2.4 mm×0.05 mm,硅质量块优化尺寸为8 mm×12.4mm×0.5 mm。设计了MEMS压电阵列振动能量收集器加工工艺流程,加工出原理样件。在1 gn加速度,239.7 Hz谐振频率激励下,测试得到样...

• 出版日期2014
• 单位重庆大学