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摘要
为了提高镀层的表面质量，提出了一种超声辅助电镀的方法。超声的空化与搅拌作用可以影响电镀的电沉积过程。设计了合理的换能器结构，并搭建了超声辅助电镀装置。通过对模型进行压电声学场与电镀场耦合仿真分析，结果表明：在硫酸铜电解液，镀铜时间60 s、电压300 V条件下，进行超声辅助电镀，镀层厚度分布均匀，镀层中部电流密度分布均匀，边缘最大电流密度是未加超声的2倍左右。基于仿真结果，进行相同的实验测试，结果表明：超声辅助电镀可以提高镀层的均匀性，减少铜颗粒表面的杂质，提高表面的光洁度。阴极样品距离换能器头部位置在60 mm左右，镀层质量良好。
- 出版日期2023
- 单位成都工业职业技术学院; 四川大学; 电子科技大学成都学院
