利用小周期蛾眼结构提高红外材料抗反射特性的研究

作者：董亭亭; 陈驰; 王海涛; 耿安兵; 付跃刚

来源：光学与光电技术, 2018, 16(03): 84-89.

DOI：10.19519/j.cnki.1672-3392.2018.03.015

• 严格耦合波分析
• 蛾眼
• 小周期微纳结构
• 反射率
• 抗反射特性

在亚波长区(λ/n<Λ<λ)具有较低反射率和零级透射率,然而在小周期区(Λ<λ/n)具有低反射率和透射率。因此,基于严格耦合波分析(RCWA)理论,以硅基底仿生小周期蛾眼微纳结构为例,设计并分析了针对该结构反射率及透射率的影响因素,如占空比、刻蚀深度、周期等,并给出了最优化参数组合。在制作过程中采用电子束刻蚀及剥离技术进行掩模图形的光刻,然后经过反应离子刻蚀得到所需深度。最后,应用原子力显微镜进行结构形貌表征,红外光谱仪测试得到该结构反射率在7%左右,透射率约为69%93%。

• 出版日期2018
• 单位华中光电技术研究所; 长春理工大学