电容式角位移传感器是通过将机械角度的变化转化成电容量变化并给出相应电信号输出的测量装置,它具有非接触、灵敏度高、高可靠性、精度高和低功耗、结构简单、工作环境要求低等特点,这使得它成为最具有发展前景的传感器之一。然而一些不足之处仍然存在,尤其是电容传感器对温度的敏感。为了更好发挥电容角位移传感器的优势,需要对其采取一些相应的措施。采用比例式测量原理可以从原理上实现差动补偿,进而提高仪器的测量准确度。
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