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Amorphous/microcrystalline transition of thick silicon film deposited by PECVD

作者：Elarbi N; Jemaie R; Outzourhit A; Khirouni K
来源：Applied Physics A, 2016, 122(6): 566.
DOI：10.1007/s00339-016-0103-y
  • 出版日期2016-6

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更新时间：2024-02-22 16:03