动压浮离抛光盘结构化流道的液流特性

作者：李刚; 张利; 文东辉

来源：上海交通大学学报, 2014, (11): 1606-1612.

DOI：10.16183/j.cnki.jsjtu.2014.11.016

• 动压浮离抛光盘
• 结构化流道
• 流场压强
• 流场速度 hydrodynamic polishing base plate
• structural flow passage
• flow field pressure
• flow field speed

针对动压浮离抛光盘流场特性优化问题,提出了楔形、L型、抛物线型3种典型的结构化流道.建立了流场约束数学模型,利用Matlab对比分析了不同结构参数下结构化流道环境产生液体动压的能力,得到了浮力与膜厚关系曲线、压力分布曲线以及浮力与各结构参数的关系曲线.同时,运用Fluent对3种结构化流道环境的流场压强与速度分布进行了仿真.理论计算与仿真结果表明:抛物线形结构化流道产生浮力的能力最强,楔形结构化流道次之,L形结构化流道远落后于前两种;工件安装区域形成的流场速度稳定,有利于非接触式抛光加工.

• 出版日期2014
• 单位浙江工业大学