高频高压低温等离子体发生研究

作者：伍远博; 陶智; 黄敏; 顾中浩; 徐超; 周长伟; 江均均; 吴迪^*

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(09): 752-758.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.09.02

• 低温等离子体
• 全桥移相
• 零电压软开关
• 高频谐振

针对传统气体放电式等离子体发生器电源效率不高、使用寿命有限等问题,提出了一种零电压软开关高频高压低温等离子体发生方法,并设计了一个高效率低损耗的高频高压低温等离子体发生系统。该系统通过移相全桥软开关控制电路提供控制信号,光耦隔离电路降低强电干扰,在零电压软开关驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现低温等离子体的稳定发生。实验结果表明,系统工作频率稳定在262kHz,系统能够稳定发生低温等离子体,等离子体束长可达13.1cm,系统工作稳定后,零电压软开关系统的效率为87.4%,与传统直流等离子体发生炬最高77%效率相比,提高了10.4%,实现了驱动管耗的降低和输入电源效率的提升。

• 出版日期2019
• 单位苏州大学