Al掺杂ZnO厚膜的sol-gel法制备及其气敏性能研究

作者：田野; 潘**; 杨瑞霞

来源：电子元件与材料, 2010, (11): 27-31.

DOI：10.14106/j.cnki.1001-2028.2010.11.023

• sol-gel法
• 纳米ZnO厚膜
• 铝掺杂
• 气敏性能
• 灵敏度 sol-gel method
• nano ZnO thick films
• Al-doping
• gas sensing property
• sensitivity

以硝酸锌、硝酸铝和氢氧化钠为原料,采用sol-gel法制备铝掺杂的纳米氧化锌厚膜(样品),并利用XRD和SEM对其微观结构进行了表征。研究了铝掺杂量和退火温度对ZnO厚膜的气敏性能的影响。结果表明:700℃退火、掺w(Al)为2.9%的样品对体积分数为4.0×10–1的丙酮有很好的选择性,最大灵敏度达到7 779左右,最佳工作温度约为162℃,响应、恢复时间均为1 s,最后讨论了铝掺杂纳米氧化锌的气敏机理。

• 出版日期2010
• 单位河北工业大学