椭圆偏振的数据处理一直存在很多困难,本文是作者从事椭偏数据分析工作的经验总结。介绍了椭偏数据分析中光谱选择范围的依据,提出了初步判别材料性质的方法,研究了一些常用模型及其应用范围,阐述了针对不同类型样品的数据分析方法,并分析了初始参数对分析结果的影响,为椭圆偏振的数据分析提供了快速易行的方法。
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