多样品法确定类金刚石薄膜的光学常数与厚度

作者：周毅; 汪爱英

来源：光学学报, 2010, (08): 2467-2472.

• 薄膜光学
• 多样品分析
• 光谱型椭偏仪
• 光学常数
• 类金刚石 thin films optics
• multiple sample analysis(MS)
• spectroscopic ellipsometry(SE)
• optical constants
• diamond-like carbon(DLC)

采用乙烷气体辉光放电法在单晶Si衬底上制备了名义厚度分别为75,150和250nm的类金刚石碳(DLC)薄膜,除沉积时间外其他工艺参数完全一致。使用可变入射角光谱型椭偏仪(VASE)测量了380～1700nm波段的椭偏谱。该研究发现,对单一DLC样品的椭偏数据进行分析时,一定的范围内,假定不同的薄膜厚度均可以得到非常好的拟合结果。结果表明,采用单样品椭偏法拟合时,厚度与光学常数呈现出强烈的关联性,无法快速获得准确的结果。采用多样品椭偏法,对三个样品建立相同的物理模型,假定他们的光学常数相同,进行数据拟合。分析发现该方法可以快速、简便地获得精确的折射率、消光系数以及厚度值。经过检验,结果具有非常...

• 出版日期2010
• 单位中国科学院宁波材料技术与工程研究所