温梯法生长大尺寸蓝宝石晶体的脱碳去色退火研究(英文)

作者:徐军; 周国清; 邓佩珍; 司继良; 钱小波; 王银珍; 周圣明; 周永宗; 朱人元
来源:Pan Tao Ti Hsueh Pao/chinese Journal of Semiconductors, 2006, (02): 245-248.

摘要

温度梯度法(temperature gradient technique,TGT)生长的Al_2O_3晶体因石墨发热体在高温时的挥发和原料中过渡性金属离子的存在,在不同部位呈现不同颜色,一般上部为浅红色,尾部为浅黄绿色.将TGT法生长的Al2O3晶体(110×80mm3)依次经过高温氧化气氛、高温还原气氛脱碳、去色退火实验,即“两步法”退火实验,晶体变成无色、透明.经测试,Al2O3晶体的完整性、光学透过率和光学均匀性均有显著提高.