SOI在射频电路中的应用

作者：骆苏华; 刘卫丽; 张苗; 狄增峰; 王石冶; 宋志棠; 孙晓玮; 林成鲁

来源：微电子学, 2005, (01): 67-70.

• 射频集成电路
• 高阻SOI
• FD-SOI CMOS
• SIMOX RF IC
• High-resistivity SOI
• FD-SOI CMOS
• SIMOX

随着射频电路(RF)工作频率和集成度的提高,衬底材料对电路性能的影响越来越大。 SOI(Silicon-on-Insulator)结构以其良好的电学性能,为系统设计提供了灵活性。与CMOS工艺的 兼容使它能将数字电路与模拟电路混合,在射频电路应用方面显示巨大优势。文章分析了RF电路 发展中遇到的挑战和SOI在RF电路中的应用优势,综述了SOI RF电路的最新进展。

• 出版日期2005
• 单位中国科学院上海微系统与信息技术研究所