登录
免费注册
首页
论文
论文详情
赞
收藏
引用
分享
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
A simultaneous deep micromachining and surface passivation method suitable for silicon-based devices
作者：Babaei E; Gharooni M; Mohajerzadeh S; Soleimani E A
来源：
Journal of Micromechanics and Microengineering
, 2018, 28(7): 075003.
DOI：10.1088/1361-6439/aab6bc
出版日期
2018-7
全文
全文
访问全文
相似论文
引用论文
参考文献
科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
