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摘要
定量相位显微(Quantitative Phase Microscopy,QPM)将相位成像和光学显微技术相结合,为微观物体的三维形貌、透明物体的厚度/折射率分布提供了一种快速、无损、高分辨率测量手段。然而,传统QPM成像系统依然是一个衍射受限系统,高分辨率与大视场难以同时兼顾。因此,如何在保持大视场的前提下提高成像空间分辨率是QPM亟需解决的问题之一。近年来,国内外学者采用离轴照明、散斑照明、结构照明、以及亚像元技术形成"合成数值孔径",实现了QPM的大视场、高分辨成像。文中对以上QPM的分辨率增强技术进行了综述,并对不同方法的优缺点进行了分析。
- 出版日期2019
- 单位西安电子科技大学; 中国科学院西安光学精密机械研究所; 瞬态光学与光子技术国家重点实验室; 陕西师范大学
