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A capacitive membrane MEMS microwave power sensor in the X-band based on GaAs MMIC technology
作者:Su Shi; Liao Xiaoping
*
来源:
Chinese Journal of Semiconductors
, 2009, 30(5): 054004.
DOI:10.1088/1674-4926/30/5/054004
DC voltage
Fabrication process
Fully compatible
GaAs
Microwave power
Microwave power sensor
MMIC technology
Modulation indexes
Output DC voltage
Reflection loss
S-parameters
Transmission line
Voltage standing wave ration
出版日期
2009--
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