单晶硅基表面碳纳米管薄膜的制备研究

作者：彭宜斌; 程国安; 刘华平; 郑瑞廷; 刘长虹

来源：国外金属热处理, 2003, (02): 44-47.

• 碳纳米管
• 催化裂解法
• 单晶硅

以乙炔气为反应气体 ,采用催化裂解方法 ,在沉积有铁催化剂膜的单晶硅基体上研究碳纳米管薄膜的制备。研究表明 ,由于催化剂的作用 ,在硅基体上能够形成直径为 5 0～ 10 0nm的碳纳米管 ;铁催化剂膜的粒径大小和分散状态对碳钠米管薄膜的厚度、管径和均匀性起着关键作用 ;氢氟酸水溶液处理的催化剂膜有利于铁催化剂颗粒的分散和均匀化 ,能形成比较好的碳纳米管薄膜。由电镜分析发现 ,在单晶硅基体上生长的碳纳米管为顶端生长模式

• 出版日期2003-4-25
• 单位北京师范大学; 南昌大学