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Dislocation structure in AlN films induced by in situ transmission electron microscope nanoindentation (vol 112, 093526, 2012)
作者：Tokumoto Yuki
*
; Kutsukake Kentaro; Ohno Yutaka; Yonenaga Ichiro
来源：
Journal of Applied Physics
, 2012, 112(12): 129902.
DOI：10.1063/1.4771927
出版日期
2012-12-15
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